Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: Учебное пособие

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: Учебное пособие	Нанотехнологии
Автор: Галперин В.А. Издательство: Бином. Лаборатория знаний, 2015	PDF, 283 страницы, 8.49 МБ 5 Оценка:
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.


1028 paraxod 27 апреля 2019

Посетители, находящиеся в группе Гости, имеют ряд ограничений на скачивание книг. После регистрации будут доступны все ссылки для скачивания, а также скрыта реклама на сайте.

F.A.Q
Чем открыть файл формата DjVu — Файл формата DjVu можно открыть при помощи программ DjVuReader или WinDjView. Чем открыть файл формата PDF — Файл формата pdf можно открыть при помощи программы Adobe Reader.

Посетители, находящиеся в группе Гости, не могут оставлять комментарии к данной публикаци.

Портал Книжка.info является самообновляемой электронной библиотекой книг, информацию в которую добавляют пользователи, согласные с тем, что они не нарушают авторских прав. На данном сайте представлены исключительно ссылки на другие ресурсы. Любое размещение информации, нарушающее авторское право будет незамедлительно удалено.