Ефремов Александр Михайлович
|
Неравновесная плазма хлора: свойства и применение
|
Физическая химия. Химическая физика
|
Автор: Ефремов Александр Михайлович
Издательство: Физматлит, 2013
|
PDF, 216 страниц, 6.48 МБ
|
В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами. Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников. Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.
|
784
 satton
27 августа 2015
|
Скачать книгу
|
|
Электронная библиотека книг
