Галперин В.А.

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях: Учебное пособие	Нанотехнологии
Автор: Галперин В.А. Издательство: Бином. Лаборатория знаний, 2015	PDF, 283 страницы, 8.49 МБ 5 Оценка:
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
1028 paraxod 27 апреля 2019	Скачать книгу

Портал Книжка.info является самообновляемой электронной библиотекой книг, информацию в которую добавляют пользователи, согласные с тем, что они не нарушают авторских прав. На данном сайте представлены исключительно ссылки на другие ресурсы. Любое размещение информации, нарушающее авторское право будет незамедлительно удалено.