Яфаров Р.К.
Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
|
Нанотехнологии
|
Автор: Яфаров Р.К. Издательство: Физматлит, 2009 |
PDF, 216 страниц, 6.48 МБ
|
В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования микроволновых источников плазмы. Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля.
|
783
satton
27 октрября 2012
|
Скачать книгу
|
|