Зебрев Г.И.
Физические основы кремниевой наноэлектроники: Учебное пособие для вузов
|
Нанотехнологии
|
Автор: Зебрев Г.И. Издательство: Бином. Лаборатория знаний, 2014 |
PDF, 240 страниц, 7.20 МБ
|
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».
|
872
admin
23 декабря 2016
|
Скачать книгу
|
|